2020年7月23日,上海市計量測試技術(shù)研究院作為課題負責單位參與的國家重點(diǎn)研發(fā)計劃 “制造基礎技術(shù)與關(guān)鍵部件”重點(diǎn)專(zhuān)項“硅基 MEMS 高深寬比三維結構的干涉顯微無(wú)損測量技術(shù)”項目啟動(dòng)會(huì )在南京理工大學(xué)順利召開(kāi)。工信部產(chǎn)業(yè)發(fā)展促進(jìn)中心、項目牽頭單位南京理工大學(xué)相關(guān)領(lǐng)導和人員出席會(huì )議,項目組各課題負責人及研究骨干參加會(huì )議。
由上海市計量測試技術(shù)研究院承擔的課題三“測量系統的量值溯源、校準與誤差補償”將主要圍繞“硅基MEMS 高深寬比三維結構測量系統的量值溯源與關(guān)鍵技術(shù)指標驗證”開(kāi)展高精度深寬比標準樣板的設計、加工、定標技術(shù)研究,并以準確賦值的標準樣板實(shí)現對項目開(kāi)發(fā)的無(wú)損測量系統的進(jìn)行量值溯源、校準與誤差分析,為項目?jì)x器開(kāi)發(fā)和關(guān)鍵技術(shù)指標提供計量保障。會(huì )上,課題負責人、上海市計量測試技術(shù)研究院機械制造所所長(cháng)、教授級高工傅云霞首先針對課題的背景意義、研究目標、課題總體思路、進(jìn)度安排等方面做了全面陳述,并對課題組織管理、基礎保障與里程碑考核等進(jìn)行了匯報和說(shuō)明。與會(huì )專(zhuān)家認真審議了課題的各項內容,對實(shí)施方案總體上表示肯定的同時(shí),提出了一些切實(shí)可行的改進(jìn)建議,進(jìn)一步完善了課題實(shí)施路線(xiàn)與方案。
近年來(lái),上海市計量測試技術(shù)研究院聚焦集成電路、商用飛機、新能源汽車(chē)、高端制造等戰略性新興產(chǎn)業(yè),以產(chǎn)線(xiàn)業(yè)務(wù)對接、產(chǎn)學(xué)研融合、聯(lián)合實(shí)驗室為抓手,為上海市科創(chuàng )中心建設提供計量技術(shù)支撐服務(wù)。同時(shí),面向產(chǎn)業(yè)發(fā)展關(guān)鍵技術(shù)難點(diǎn)、技術(shù)瓶頸等,陸續開(kāi)展國家重大儀器開(kāi)發(fā)專(zhuān)項、國家重點(diǎn)研發(fā)計劃、國防計量重大專(zhuān)項、國家市場(chǎng)監管總局科技項目、市科委重大科技項目等國家、地方的重點(diǎn)建設項目。